全自动内外层DI
| 序号 | 系列 | 标准系列 | 超大系列 |
| 设备型号 | KST-DI2432A-12XLB | KST-DI2449A-12XLB | |
| 1 | 生产尺寸 | 12"×12" (Min) 24.5"×32.5" (Max) | 12"×12" (Min) 24.5"×49.5" (Max) |
| 2 | 基材厚度 | 0.08 - 4.0 mm | |
| 3 | 线宽解析精度 | 40μm/40μm | 50μm/50μm |
| 4 | 景深 | ±300μm | |
| 5 | 对位精度 | ±8μm | ±12μm |
| 6 | 内层层间对准精度 | 24μm | |
| 7 | 制板速度 | 24.5 "×32.5 "20mj : 8.0–9.0 PNL/min | 24.5 "×49.5 "20mj : 6.5–7.5 PNL/min |
| 8 | 感光材料 | 干膜、DI专用油墨 | |
| 9 | DI镜头个数 | 6×2 | |
| 10 | 均匀性 | ≥90% | |
| 11 | 光源波长 | 405nm | |
| 12 | 光源输出功率 | 65W/头 | |
| 13 | 曝光方式 | 单面曝光 | |
| 14 | 资料输入 | Gerber274X、Gerber274D、ODB+ + | |
| 15 | 图形胀缩管理 | 固定胀缩；自动胀缩；分区胀缩；测量胀缩 | |
| 16 | 扫码MARK功能 | 打印日期；时间；序号；胀缩系数等 | |
| 17 | 靶标对位 | 正面对位 | |
| 18 | 多区域曝光 | 支持 | |
| 19 | 工作高度 | 1040±50mm | |
| 20 | 环境需求 | 温度：22±2°C 湿度：55%±5% 万级无尘室 | |
| 21 | 电源需求 | 三相五线；380VAC/50Hz/ 25 KVA×2 | 三相五线；380VAC/50Hz/ 30 KVA×2 |
| 22 | 气压源需求 | 6-7Kg/cm²，流量1000L/min×2 | 6-7Kg/cm²，流量 1500L/min×2 |
| 23 | 冰水需求 | 7-12℃，流量70L/min，压力2-3Kg/cm² ×2 | |
| 24 | 设备尺寸 | 6400mm（L）×2930mm（W）×2050mm（H） | 6400mm（L）×3500mm（W）×2050mm（H） |
| 25 | 设备重量 | 总重约12300Kg (单机重4400Kg×2, 输送线+翻转机约重3500Kg ) | 总重约14800Kg (单机重5400Kg×2, 输送线+翻转机约重4000Kg ) |
